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應(yīng)用方案

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鏡面微位移測(cè)量方案

精密鏡面位移有難度

???????隨著國(guó)防科技、精密制造等領(lǐng)域中,機(jī)械裝置想著超精密化方向的發(fā)展,如芯片制造、天文觀測(cè)、激光加工等領(lǐng)域,對(duì)于其中用到的鏡面偏轉(zhuǎn)裝置也有著更高的要求,需要對(duì)于鏡面偏移裝置的精密微位移、偏移有極高的測(cè)量要求,這對(duì)于鏡面偏轉(zhuǎn)裝置的驅(qū)動(dòng)控制有著極為重要的意義。

???????對(duì)于鏡面偏轉(zhuǎn)的微位移測(cè)量,大多在微米級(jí)的位移量,對(duì)于分辨率更有著極高的要求,并且部分應(yīng)用中,還會(huì)用于比較特殊的環(huán)境中,例如高原、極地天文望遠(yuǎn)鏡或者真空中光刻機(jī)的等溫度條件或高壓條件,這種種因素都對(duì)鏡面的微位移測(cè)量提高了難度。

真尚有提出新方法

???????真尚有科技在鏡面微位移的精密測(cè)量有著自己獨(dú)特的技術(shù),利用電容測(cè)微原理的非接觸式位置測(cè)量系統(tǒng),以此來測(cè)量鏡面偏移裝置的精密微位移,對(duì)于溫度變化大帶來的溫漂范圍大以及真空高壓,真尚有提供定制性方案,定制探頭使用具有高熱穩(wěn)定性材質(zhì)的超殷鋼、塞爾杜爾和陶瓷材質(zhì)帶來穩(wěn)定的測(cè)量,實(shí)現(xiàn)高輻射,特高壓,低溫解決方案。

更懂您的行業(yè)顧問/方案擴(kuò)展

???????真尚有科技提供各種檢測(cè)方案,我們不僅僅提供各種技術(shù)方面的支持,基于我們?cè)谛袠I(yè)內(nèi)超過15年的積累,協(xié)助客戶一起把原始需求迭代為完整方案,最終服務(wù)您的方案藍(lán)圖反而是我們更注重的地方。我們始終相信成交靠緣分,不管您是否從我們這里采購(gòu),我們都非常樂意為您服務(wù)。

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